Sensoren der Mikro- und Nanomesstechnik

被引：0

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作者：

Bodermann, B. ^{[1
]}

Bosse, H. ^{[1
]}

Frase, C.G. ^{[1
]}

Koenders, L. ^{[1
]}

Wilkening, G. ^{[1
]}

机构：

[1] Physikalisch Technische Bundesanstalt, Braunschweig und Berlin, Germany

来源：

VDI Berichte | 2006年 / 1950期

关键词：

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