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Karlsruhe Inst Technol, Inst Micro Proc Engn, Hermann von Helmholtz Pl 1, D-76344 Eggenstein Leopoldshafen, Baden Wurttembe, Germany Karlsruhe Inst Technol, Inst Micro Proc Engn, Hermann von Helmholtz Pl 1, D-76344 Eggenstein Leopoldshafen, Baden Wurttembe, Germany