半导体设备SECS/GEM通信研究与设计

SECS/GEM是半导体行业中广泛采用的一个半导体设备通信标准。本文首先介绍了SECS/GEM标准的制定及行业应用情况，分别说明了HSMS、SECS-II、GEM各个通信标准的数据格式、传输控制、状态转换模型控制方式等；同时，阐述了所设计一套用于半导体设备SECS/GEM标准的软件通信系统。通过实践表明，该通信系统符合SECS/GEM标准，性能良好，满足设备的需求。