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MnSi1.7半导体薄膜材料研究进展
被引:1
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作者
:
赵伟
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机构:
清华大学物理系
赵伟
侯清润
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清华大学物理系
侯清润
陈宜保
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清华大学物理系
陈宜保
何元金
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清华大学物理系
何元金
机构
:
[1]
清华大学物理系
来源
:
真空科学与技术学报
|
2008年
/ 06期
关键词
:
MnSi1.7半导体薄膜;
温差发电;
综述;
红外探测器;
掺杂;
纳米尺寸;
D O I
:
10.13922/j.cnki.cjovst.2008.06.019
中图分类号
:
TN304.055 [];
学科分类号
:
摘要
:
本文对近年来MnSi1.7半导体薄膜的制备方法和电学性能进行了综述。与PtSi和Bi1-xSbx薄膜制备的红外探测器相比较,用MnSi1.7半导体薄膜制备的红外探测器有诸多优点。另外,MnSi1.7半导体薄膜还可以用于制造微型温差发电器件。掺杂及制备纳米尺寸的薄膜是改善其电学性能的两个方法。通过对薄膜进行掺杂,可以获得p型和n型薄膜,薄膜的电阻率明显下降;将薄膜厚度减小到14nm后,塞贝克系数在483K时可达-967μV.K-1。
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相关论文
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本征纳米硅薄膜的微结构表征
刘绪伟
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
刘绪伟
郜小勇
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
郜小勇
赵剑涛
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
赵剑涛
杨仕娥
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
杨仕娥
陈永生
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
陈永生
谷锦华
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
谷锦华
卢景霄
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
卢景霄
[J].
真空科学与技术学报,
2007,
(03)
: 200
-
202
[2]
磁控溅射SiC薄膜及其电学特性研究
周继承
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中南大学物理科学与技术学院
周继承
郑旭强
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中南大学物理科学与技术学院
郑旭强
[J].
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2007,
(02)
: 127
-
130
[3]
晶粒尺寸对CoSb3化合物热电性能的影响
余柏林
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
余柏林
祁琼
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
祁琼
唐新峰
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
唐新峰
张清杰
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
张清杰
[J].
物理学报,
2005,
(12)
: 253
-
258
[4]
快速凝固和热压高锰硅的微观结构和热电性能
刘晓虎
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浙江大学硅材料国家重点实验室
刘晓虎
赵新兵
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浙江大学硅材料国家重点实验室
赵新兵
倪华良
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浙江大学硅材料国家重点实验室
倪华良
陈海燕
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浙江大学硅材料国家重点实验室
陈海燕
[J].
功能材料与器件学报,
2004,
(02)
: 231
-
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[5]
CoSb3/C60复合材料的固相反应合成和热电性能
史迅
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
史迅
陈立东
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
陈立东
柏胜强
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
柏胜强
唐新峰
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
唐新峰
[J].
物理学报,
2004,
(05)
: 1469
-
1473
[6]
p-型FeSi2/Bi2Te3梯度热电材料的优值推证与界面温度优化
崔教林
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浙江大学材料科学与工程系
崔教林
赵新兵
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赵新兵
[J].
稀有金属材料与工程,
2002,
(02)
: 118
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121
[7]
锰硅化物的固相反应生长研究
谢二庆
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兰州大学物理系
谢二庆
王文武
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王文武
姜宁
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姜宁
贺德衍
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兰州大学物理系
贺德衍
[J].
物理学报,
2002,
(04)
: 873
-
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[8]
离子束外延生长半导体性锰硅化合物
杨君玲
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
杨君玲
陈诺夫
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
陈诺夫
刘志凯
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
刘志凯
杨少延
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杨少延
柴春林
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
柴春林
廖梅勇
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
廖梅勇
何宏家
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
何宏家
[J].
半导体学报,
2001,
(11)
: 1429
-
1433
[9]
β-FeSi2热电材料的性能优化及测试方法
朱铁军
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机构:
浙江大学!杭州
朱铁军
赵新兵
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机构:
浙江大学!杭州
赵新兵
[J].
材料科学与工程,
1999,
(04)
: 55
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[10]
温差电转换及其应用[M]. 兵器工业出版社 , (英)D.M.Rowe编著, 1996
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[1]
本征纳米硅薄膜的微结构表征
刘绪伟
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
刘绪伟
郜小勇
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
郜小勇
赵剑涛
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
赵剑涛
杨仕娥
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
杨仕娥
陈永生
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
陈永生
谷锦华
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
谷锦华
卢景霄
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郑州大学教育部材料物理重点实验室
卢景霄
[J].
真空科学与技术学报,
2007,
(03)
: 200
-
202
[2]
磁控溅射SiC薄膜及其电学特性研究
周继承
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中南大学物理科学与技术学院
周继承
郑旭强
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中南大学物理科学与技术学院
郑旭强
[J].
真空科学与技术学报,
2007,
(02)
: 127
-
130
[3]
晶粒尺寸对CoSb3化合物热电性能的影响
余柏林
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
余柏林
祁琼
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
祁琼
唐新峰
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
唐新峰
张清杰
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武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室
张清杰
[J].
物理学报,
2005,
(12)
: 253
-
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[4]
快速凝固和热压高锰硅的微观结构和热电性能
刘晓虎
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浙江大学硅材料国家重点实验室
刘晓虎
赵新兵
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倪华良
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倪华良
陈海燕
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浙江大学硅材料国家重点实验室
陈海燕
[J].
功能材料与器件学报,
2004,
(02)
: 231
-
235
[5]
CoSb3/C60复合材料的固相反应合成和热电性能
史迅
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
史迅
陈立东
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陈立东
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唐新峰
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中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
唐新峰
[J].
物理学报,
2004,
(05)
: 1469
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[6]
p-型FeSi2/Bi2Te3梯度热电材料的优值推证与界面温度优化
崔教林
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浙江大学材料科学与工程系
崔教林
赵新兵
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浙江大学材料科学与工程系
赵新兵
[J].
稀有金属材料与工程,
2002,
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121
[7]
锰硅化物的固相反应生长研究
谢二庆
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谢二庆
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王文武
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姜宁
贺德衍
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兰州大学物理系
贺德衍
[J].
物理学报,
2002,
(04)
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-
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[8]
离子束外延生长半导体性锰硅化合物
杨君玲
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
杨君玲
陈诺夫
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
陈诺夫
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
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杨少延
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中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
廖梅勇
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机构:
中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室
何宏家
[J].
半导体学报,
2001,
(11)
: 1429
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1433
[9]
β-FeSi2热电材料的性能优化及测试方法
朱铁军
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浙江大学!杭州
朱铁军
赵新兵
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浙江大学!杭州
赵新兵
[J].
材料科学与工程,
1999,
(04)
: 55
-
59
[10]
温差电转换及其应用[M]. 兵器工业出版社 , (英)D.M.Rowe编著, 1996
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