ELECTRON-TEMPERATURE IN A MEDIUM-PRESSURE RADIO-FREQUENCY FLOWING POSITIVE-COLUMN PLASMA

被引:6
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作者
CHANG, JS [1 ]
机构
[1] YORK UNIV,DEPT PHYS,DOWNSVIEW M3J 1P3,ONTARIO,CANADA
关键词
D O I
10.1063/1.325022
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1287 / 1288
页数:2
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