PREPARATION OF AMORPHOUS FILMS OF RARE EARTH-TRANSITION METAL SYSTEM BY CO-SPUTTERING

被引：0
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作者：
YAMAMOTO, H
NAOE, M
YAMANAKA, S
机构：
来源：
ELECTRICAL ENGINEERING IN JAPAN | 1977年 / 97卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1002/eej.4390970603
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：17 / 23
页数：7
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