3-DIMENSIONAL MATHEMATICAL-MODELING OF TRANSPORT PROCESSES IN CVD REACTORS

被引：0
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作者：
HE, Y
SAHAI, Y
机构：
[1] BOUTUO INST IRON & STEEL TECHNOL,BOUTUO,PEOPLES R CHINA
[2] OHIO STATE UNIV,DEPT MET ENGN,COLUMBUS,OH 43210
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1987年 / 134卷 / 11期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：C626 / C626
页数：1
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