CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF TRANSITION-METAL SILICIDES BY PYROLYSIS OF SILYL TRANSITION-METAL CARBONYL-COMPOUNDS

被引:42
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作者
AYLETT, BJ [1 ]
COLQUHOUN, HM [1 ]
机构
[1] UNIV LONDON,WESTFIELD COLL,DEPT CHEM,LONDON NW3 7ST,ENGLAND
关键词
D O I
10.1039/dt9770002058
中图分类号
O61 [无机化学];
学科分类号
070301 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:2058 / 2061
页数:4
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