ON THE HYDROGEN DIFFUSION IN SILICON AT ABOUT 100-DEGREES-C

被引:2
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作者
SCHMALZ, K
TITTELBACHHELMRICH, K
机构
来源
关键词
D O I
10.1002/pssa.2211130130
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:K9 / K13
页数:5
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