AMORPHOUS CHROMIUM-SILICON - MATERIAL FOR KILO-OHM SHEET RESISTANCES

被引：24

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作者：

HIEBER, K

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1979年 / 57卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(79)90178-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：353 / 357

页数：5

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