SURFACE MECHANICAL-PROPERTIES - EFFECTS OF ION-IMPLANTATION

被引:81
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作者
HERMAN, H
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS | 1981年 / 182卷 / APR期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(81)90819-3
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:12
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