ATOMISTIC NUMERICAL-SIMULATION OF EPITAXIAL CRYSTAL-GROWTH

被引:28
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作者
DASSARMA, S
PAIK, SM
KHOR, KE
KOBAYASHI, A
机构
来源
关键词
D O I
10.1116/1.583707
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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页码:1179 / 1183
页数:5
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