DEPOSITION OF NEW PIEZOELECTRIC TA2O5 THIN-FILMS AND THEIR SURFACE ACOUSTIC-WAVE PROPERTIES

被引:32
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作者
NAKAGAWA, Y
GOMI, Y
OKADA, T
机构
关键词
D O I
10.1063/1.338321
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:5012 / 5017
页数:6
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