SELECTIVE EPITAXIAL-GROWTH OF GAAS FROM LIQUID-PHASE

被引:6
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作者
ISHIHARA, O [1 ]
OTSUBO, M [1 ]
MITSUI, S [1 ]
机构
[1] MITSUBISHI ELECT CORP, CENT RES LAB, ITAMI, HYOGO, JAPAN
关键词
D O I
10.1143/JJAP.16.2109
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2109 / 2113
页数:5
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