OBSERVATIONS OF CHANNELS OF MOS FIELD EFFECT TRANSISTORS USING A SCANNING-ELECTRON MICROSCOPE

被引:8
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作者
HIGUCHI, H
MAKI, M
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.4.1021
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1021 / &
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